・采用直线电机，使搬运、推送和长度测量系统小型化。
・厚度：9mm，质量：130g（行程10mm时）。
・最大推力：6N。
・重复定位精度：±5μm。
・推进测长精度：±10μm。
・最高使用频率：500cpm。
| 系列 | 行程（mm） | 传感器 （光学式直线 编码器）分辨率 | 推进 瞬时最大推力 | 重复 定位 精度 | 推进 测长 精度 | 最高速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LAT3F | 10, 20, 30, 50 | 1.25μm | ～6N | ±5μm | ±10μm | 400mm/s |
| LAT3M | 50 | 5μm | ～6N | ±20μm | ±40μm | 400mm/s |
| LAT3 | 10, 20, 30 | 30μm | ～6N | ±90μm | ±100μm | 400mm/s |
